真空冷喷
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真空冷喷（气悬浮沉积设备）
SWZKLP真空冷喷涂系统
一，设备概述
真空冷喷涂环境系统是根据客户工艺要求，结合陕西赛维自动化有限公司在真空系统上的成功经验设计的一套用在真空室体的冷喷涂系统。设备的主要用途：沉积微米级厚度的陶瓷薄膜。
气悬浮沉积设备性能参数：
1） 极限真空度：5Pa
2） 工作真空度：50~1000Pa；动态可调 精度±5Pa（升级不另行通知）
3） 真空室体尺寸（长×宽×高）：1050×800×900mm；（升级不另行通知）
4） 二维工作台行程：350×320 mm；可X-Y编程，可图形输入
5） 控制系统：PLC可编程控制器
6） 控制方式：压强自动控制
7） 气体过滤回收
二，真空冷喷涂设备系统组成
真空喷涂设备系统包括真空抽气泵组，真空室体及附件，真空室体底座，吹气悬浮振动送粉及冷喷枪，二维工作台工件安装及移动装置，电气控制及操作系统，回填气路，手动破空阀及消音器，真空规检测，真空管路及真空阀门等组成。
三、真空冷喷涂样件照片
喷涂氧化铝试件照片
喷涂氧化铝试件扫描电镜照片
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