真空等离子喷涂

SWZP-2000真空等离子喷涂系统

一、总体概述

本设备PS-PVD/LPPS/VPS适用于单工位工件重量不大于150kg,实现100-90000Pa任意设定值真空条件下进行等离子喷涂，在真空室内喷涂设备由机器人夹持实现三维运动，工件由工装转台夹持可在一定范围内旋转并与机器人联动，压力检测位置位于工作台上方，配备相应的除尘、冷却、真空舱室内视频等附属装置，并预留4个观测窗口。

真空等离子喷涂系统由真空室体、真空系统、适用于真空环境使用的机器人、旋转工装、真空及排气过滤系统、真空排气系统、冷却系统、测量及控制系统、台车推移及拖链装置和视频监视系统等组成。（等离子喷涂系统由用户自行选择）

二、技术指标

A、概述

本设备可在100～90000pa的密封真空室内进行热喷涂，等离子喷枪置于密闭真空环境下，将粉末材料送入经电离产生的等离子体射流中，使粉末颗粒在其中加速、熔化或汽化，在机械手操作下喷射到工件表面，在冲击力的作用下，汽化、半熔化或塑性状态射流在基底上凝固形成涂层。主要用于在材料表面制备功能涂层材料，如：金属、活性金属、合金、金属陶瓷、陶瓷、碳化物和氮化物等形成多层复合材料。

真空等离子喷涂设备可以一次性在复杂形状工件表面形成多层结构和超硬度涂层（如 TiN等），涂层致密无氧化和其他污染，可有效改善工件的表面物理化学特性。

B、主要技术参数

1、型号                                   　          ZP-2000A 型

2、真空室体规格                                   Φ2000×3500 mm

3、极限真空度(空载、干燥、清洁的真空室体)                    5 Pa

4、工作真空度                   　   100～90000 Pa（进气量<100 SLPM）

5、静态漏率(空载、干燥、清洁的真空室体)　         　    ≤ 67 Pa/h

6、控制方式　  自动、手动抽空和采用计算机和PLC工业控制器联合控制

7、气体压强控制                　              计算机自动控制压强

8、气体压强调节方法                 　   计算机调节多级泵联合控制